




大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴格的要求。2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣,下游抽真空的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
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試驗室集中供氣系統(tǒng)的特點
1、特點:試驗室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為試驗室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。
2、經(jīng)濟性:建一個集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗室空間,更換氣瓶時不需要切斷氣體,保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。使用者只需管理較少的氣瓶,支付較少的氣瓶租金,因為使用同一氣體的所有使用點來自于同一個氣源。以上內(nèi)容由艾明坷為您提供,今天我們來分享的是高純供氣系統(tǒng)的相關(guān)內(nèi)容,希望對您有所幫助。此種供應(yīng)方式終會減少運輸費用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的氣瓶管理。
3、使用率:集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點處,這樣的話可以更合理的設(shè)計工作場所。
4、安全性:保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實驗中免受有毒有害氣體的侵害。
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試驗室集中供氣系統(tǒng)的優(yōu)點
針對過去使用中存在的問題,現(xiàn)代試驗室對載氣的使用環(huán)境進行了改革,即 “集中供氣系統(tǒng)”,即將使用氣體(以下簡稱載氣)集中貯存,然后通過壓差的原理將氣體經(jīng)過金屬或其他材質(zhì)管路送至用氣點。其優(yōu)點主要有以下幾點:
1、首先解決氣瓶的放置問題。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間,如果與試驗室在同一大樓內(nèi),則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間,這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離,即使有害氣體有泄漏,也不會發(fā)生直接傷害。4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯(lián)一路,用單獨的閥門隔離,以方便對過濾裝置進行維修。
2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據(jù)氣體性質(zhì)分別集中在一個氣瓶間中與助燃氣體分開存貯。
3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個出口統(tǒng)一減壓后運送氣體至使用點。但是考慮安全和效率因素,不考慮經(jīng)濟性因素,集中供氣系統(tǒng)是比較優(yōu)1秀的方式。因為氣瓶間是相對獨立的,整個氣路系統(tǒng)壓力1大的地方也是氣瓶出口處,因此這種方式將氣瓶壓力可能發(fā)生的危險縮小至氣瓶間內(nèi),可對人體及儀器的傷害可降到1低。
氦質(zhì)譜檢漏儀
隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢漏儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢漏儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀1新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展,這些特點很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,也極大地1推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)用范圍很廣,在化工、石油冶金、機械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。
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